全国服务热线：13992091608
产品
联系我们
联系人：贾军
电话：13992091608
邮箱：source@sinokiln.com
地址 ：陕西省咸阳市秦都区玉泉西路210号
硅碳负极专用设备
深圳CVD气相沉积炉
来源：http://shenzhen.sinokiln.com/product610331.html 发布时间：2020/8/18 16:09:40
CVD深圳气相沉积炉为立式真空感应加热炉，它由炉体、炉盖、真空系统、电气系统、加气系统、和水冷系统等部分组成。炉身采用水冷夹层结构。炉内装有感应线圈，发热体也是石墨材料制成石墨坩埚。发热体外围是由碳毡组成的保温装置和由刚玉组成的隔热绝缘装置。测温元件采用热电偶，半自动/手动控制炉温，采用智能型温度表控温。
深圳CVD气相沉积炉技术特征：
CVD气相沉积炉工作区尺寸可达2.5m×2m×4.5m，能满足大型工件化学气相沉积处理需求；
CVD气相沉积炉采用多温区独立控温，温度均匀性好；
CVD气相沉积炉采用特殊结构沉积室，密封效果好，抗污染能力强；
CVD气相沉积炉采用多通道沉积气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；
CVD气相沉积炉能有效处理生产过程中产生的各种规格杂质。
- 上一篇：深圳真空气氛箱式炉
- 下一篇：深圳KY-R-LQC400-6M型CVD炉
相关新闻
-
2024-10-14
深圳咸阳科源新材料装备有限公司成功协办2024硅负极用多孔碳材料技术研讨会并获奖
-
2024-10-10
国外头部企业莅临深圳咸阳科源窑炉设备验收
-
2021-01-11
深圳气相沉积炉的基本介绍
-
2020-12-21
深圳气相沉积炉的技术特点
-
2020-12-03
深圳气相沉积炉的技术特征
-
2020-11-17
深圳气相沉积炉技术特点
