关于深圳气相沉积炉的应用

来源：http://shenzhen.sinokiln.com/news666112.html 发布时间：2021/8/16 17:23:00

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随着科技的发展传统的难熔金属制备方式成本较高，深圳气相沉积炉如果将气体引入到室内，室内的衬底表面就会发生化学反应，对化学相沉积炉有了全新的要求，气相沉积炉技术在锂电子电池材料也可以应用，借助气相沉积炉本身易重现和覆盖性等特点，以下是有关气相沉积炉的使用：

1、为气相沉积炉主体内有加热室，水冷电极，测温热电偶，是处理工件的核心部分。

2、为混气罐，由1只电动蝶阀、2只浮子流量计和4只不锈钢手动截止阀组成，负责氩气和丙烷的混气配比，以及向沉积炉内定量输送工作气体。

3、2台滑阀泵负责炉内空气及工作废气的排除，使炉子工作在恒定的压力范围之内。

4、过滤罐2台负责滑阀泵前级的粉尘排除。

5、真空电动蝶阀2台在滑阀泵工作过程中，通过调节阀的开度，从而可以调节泵的抽速。

6、加热磁性调压器，3台独立工作，完成炉温的控制。

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