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深圳气相沉积炉用途及特点
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一、设备用途:
化学深圳气相沉积炉主要用于碳化硅(SIC)及氮化硼(BN)等新材料的制备。
二、气相沉积炉设备特点:
1 立式结构,气相沉积炉炉门采用丝杠升降或液压升降/手动升降。
2 双层炉壳结构,内层不锈钢,外层为碳钢,中间通水冷却。石墨碳棒加热体,石墨碳毡保温层保温效果好。
3 控制方式为PLC加触摸屏方式,有手动及自动控制切换。自动化程度高,操作方便。
4 主要电器元件采用知名品牌,性能稳定、可靠。
5 配备出、装料料车,方便操作及出装料,提高工作效率。
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