全国服务热线：13992091608
新闻
产品
联系我们
联系人：贾军
电话：13992091608
邮箱：source@sinokiln.com
地址 ：陕西省咸阳市秦都区玉泉西路210号
新闻中心
深圳气相沉积炉的核心部件有哪些?
来源：http://shenzhen.sinokiln.com/news1079815.html 发布时间：2025/10/11 17:35:00
咸阳科源新材装备有限公司专门为您展示深圳磷酸铁锂煅烧炉，深圳硅碳负极包覆设备，深圳回转炉等相关方面的信息，请您关注我们！
深圳气相沉积炉的核心部件包括：
沉积炉主体：包含加热室、水冷电极、测温热电偶，是处理工件的核心部分。
混气罐：由电动蝶阀、浮子流量计和不锈钢手动截止阀组成，负责气体的混气配比和向沉积炉内定量输送工作气体。
滑阀泵：负责炉内空气及工作废气的排除，使炉子工作在恒定的压力范围之内。
真空电动蝶阀：在滑阀泵工作过程中，通过调节阀的开度，从而可以调节泵的抽速，使炉子工作在恒定的压力范围之内。
加热磁性调压器：完成炉温的控制。
真空反应室：气相沉积炉属于真空设备，需要在一定真空环境下进行工作。
抽气组件：用于维持炉内的真空环境。
控制面板：用于监控和控制系统的工作参数。
深圳磷酸铁锂煅烧炉多少钱？深圳硅碳负极包覆设备报价？深圳回转炉好不好？咸阳科源新材装备有限公司专业深圳磷酸铁锂煅烧炉,深圳硅碳负极包覆设备,深圳回转炉,深圳气相沉积炉,的公司
- 上一篇：没有了
- 下一篇：深圳污水处理项目首批产品圆满交付
相关新闻
-
2025-10-11
深圳气相沉积炉的核心部件有哪些?
-
2025-09-18
深圳硅碳负极包覆设备工艺
-
2025-09-10
深圳磷酸铁锂煅烧炉设备有哪些优势？
-
2025-09-02
深圳回转炉的工作原理和设计
-
2025-08-28
深圳气相沉积炉是什么
-
2025-08-28
影响硅深圳碳负极包覆设备价格的因素有哪些？
