深圳气相沉积炉的主要性质和应用

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深圳气相沉积炉使用等温或热梯度工艺实现致密化。将待处理的物体放置在相应的腔室中，并下沉放入高温炉的热区。在盖子被下放进入炉中并密封之前，所有的气体、水和电气和工艺仪器应连接到位。接下来高温炉排空气体并加热到约1000°C。然后引入天然气或甲烷等烃类气体。气体扩散进入预制件，分成成分分子，将热解碳沉积进入预制件填充空隙。加热和供应沉积气体的工艺顺序自动化进行。在等热过程中，预制件保持这一均匀温度30~40天，直到获得预期的复合材料密度和孔隙率。

气相沉积炉系双壁设计，可以在运行期间用水冷却。电力电缆较粗，也可用水冷却。实际的蒸馏器位于高温炉内部，而且通过石墨感应或电阻加热器加热到2200~2900°C。

因为设备尺寸和重量均较大，所以每个部件均采用托盘和板条箱包装。大型盖子、电源和炉体通常已内置有起吊点或环，以方便设备的搬动和组装。

气相沉积炉用于将碳注入到火箭喷管或再入飞行器(RV)鼻锥的多孔碳预制件中。这种称为致密化的工艺有效消除了预制件中的空隙，从而增加被处理物体的机械和物理特性。碳碳复合材料的最终特性在很大程度上取决于预制件中碳纤维的类型和方向以及致密化使用的工艺参数。

气相沉积)炉用于制造碳-碳火箭喷管和鼻锥。碳-碳制件重量轻、强度大，可以提升系统性能。还可用于为光学器件涂覆涂层；为航空航天制动系统摩擦材料和切削刀具致密;精密表面增加涂层和抛光;以及半导体生产。

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