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  • 当前,行业备受青睐的产品是气相沉积(CVD )硅碳材料,通过硅烷、碳氢气体依次沉积形成致密结构,首效高,循环好,膨胀低,获得产业界广泛的认可。国内外各大企业积极投入硅基负极材料的应用研发,我公司研发定制的硅烷沉积炉备受关注。近日,福建、宁...