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  • 气相沉积炉设备室是立式结构,气相沉积炉炉门采用丝杠升降或液压升降/手动升降。双层炉壳结构,内层不锈钢,外层为碳钢,中间通水冷却。石墨碳棒加热体,石墨碳毡保温层保温效果好。控制方式为PLC加触摸屏方式,有手动及自动控制切换。自动化程度高,操作...