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化学气相沉积炉可用于以碳氢气体为碳源的复合材料的化学气相沉积。其中CVD气相沉积炉是指高温下的气相反应，例如，金属卤化物、有机金属、碳氢化合物等的热分解，氢还原或使它的混合气体在高温下发生化学反应以析出金属、氧化物、碳化物等无机材料的方法...
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